SiC

ALCHEMIST的所有产品均根据工业现场要求的标准而设计，
以积累的技术实力为基础，进一步强化耐久性、精密度和稳定性，可以放心使用。

SiC

SiC环

控制晶圆边缘的等离子体，以便确保蚀刻均匀度的核心零部件
这种材料的高强度和高耐蚀性优于Si

Specifications	Ring
Durability	Etcher
Process Uniformity	Single Crystal / Poly Crystal
Replacement Frequency	Focus Ring, Edge Ring, Insert Ring
Main Applications	Ø200 ~ 400 mm

Product