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  • 陶瓷

陶瓷

ALCHEMIST的所有产品均根据工业现场要求的标准而设计,
以积累的技术实力为基础,进一步强化耐久性、精密度和稳定性,可以放心使用。

陶瓷 概述

铝氧化物

高纯度Al2O3的纯度通常在99.5%以上,并含有超过80%的细颗粒(~<1um)。

陶瓷

Yttria, Y₂O₃

其等离子体刻蚀速率显著低于氧化铝。
这不仅能大幅延长零部件的使用寿命,还能通过保
持腔体清洁,在提升良率方面发挥关键作用。

规格

Properties

Value
Plasma Etch Rate Extremely low (excellent protection)
Chemical Stability  Highly resistant to fluorine (F) and chlorine (Cl) gases
Particle Contamination Minimal corrosion generation, ensuring high cleanliness
Electrical Properties Excellent electrical insulation, but lower than that of alumina
Machinability Difficult to sinter; primarily applied as a coating
Application Type Focus Ring, Chamber Lin


陶瓷

Alumina, Al₂O₃

即使在高温环境下,它仍能保持优的电绝缘性能;同时,
其卓越的机械强度和耐磨性使其成为一种高度通用的核心材料,
可在多种工艺中支撑半导体设备的结构稳定性。

规格

Properties

Value

Plasma Etch Rate

Relatively high (rapid erosion)
Chemical Stability Resistant to acids and alkalis, but vulnerable to fluorine (F)
Particle Contamination Corrosion-induced contamination
Electrical Properties Very high dielectric breakdown strength
Machinability Easy molding and precision polishing
Application Type Chamber structures and insulating components


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