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PRODUCT

Differentiated technology and
industry-leading expertise.

Aluminum Oxide

Aluminum Oxide

产品说明

高纯度Al2O3的纯度通常在99.5%以上,并含有超过80%的细颗粒(~<1um)。

应用

用于半导体工艺的干式蚀刻和CVD

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项目


属性

密度 (g/cm³)

3.9

弯曲强度 (MPa)

17.2

维氏硬度 (GPa)

30

热导率(W/mK, @20°C)

15x106


SITEMAP