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PRODUCT

Differentiated technology and
industry-leading expertise.

硅环

Silicon Ring

产品说明

安装在ESC晶圆周围的硅环用于保持均匀的等离子体密度和蚀刻速率。

应用

干法蚀刻机工艺

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规格

属性 值
材料

单晶硅
外径480mm ~ 240mm
电阻率（Ω.㎝）

低分辨率（<0.02）/中分辨率（1~4）高分辨率 (60~90)
表面状态

抛光、研磨、磨削
表面平坦度 < 5㎛
加工精密度< 10㎛
质量

无碎裂、划痕、裂纹、污染、印色


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