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PRODUCT

Differentiated technology and
industry-leading expertise.

Silicon Electrode

硅电极

产品说明

流过硅板微孔的等离子气体对晶圆进行蚀刻

应用

Dry etcher process

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规格

属性值
材料 单晶硅
外径500mm ~ 240mm
电阻率(Ω.㎝) 低分辨率 (<0.02) / 中分辨率 (1~4) / 高分辨率 (60~90)
Gas hole Diameter 0.7~0.3mm / Roundness < 0.05mm / Concentricity < 0.05mm / Δ XY-Position < 0.05mm

表面状态

抛光、研磨、磨削
表面平坦度< 5㎛
加工精密度< 10㎛

质量

无碎裂、划痕、裂纹、污染、印色


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