Si Ring - PRODUCT - 알케미스트

실리콘 링

제품 설명

ESC의 웨이퍼 주위에 장착된 실리콘 링은 균일한 플라즈마 밀도와 에칭 속도를 유지하는 역할을 합니다.

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Properties	Value
Material	Single Crystal Silicon
Out diameter	480mm ~ 240mm
Resistivity(Ω.㎝)	Low Res. (< 0.02) / Middle Res. (1~4) / High Res. (60~90)
Surface condition	Polishing, Lapping, Grinding
Surface Flatness	< 5㎛
Machining precision	< 10㎛
Quality	Chipping, Scratch/Crack free Contamination/Stain free

PRODUCT