Ceramic

알케미스트의 모든 제품은 산업 현장에서 요구하는 기준에 맞춰 설계되었으며,
축적된 기술력을 바탕으로 내구성·정밀도·안정성을 더욱 강화해 안심하고 사용할 수 있습니다.

세라믹 부품은 플라즈마의 강력한 부식 성능을 견디며 공정의 정밀도를 유지하는 핵심 소모품입니다.

1. 초고온 내열성
금속이 녹아 내리는 고온에서도 기계적 강도와 형태를 유지하며, 열에 의한 팽창이 매우 적어 정밀도가 높습니다.

2. 화학적 및 기계적 특성
식각 공정의 플라즈마에 노출되어도 부식되거나 성질이 변하지 않습니다.

3. 전기 절연성
전기를 차단하는 능력이 탁월하여, 전압이 높은 환경에서도 전류를 완벽히 차단하는 반도체 전극의 핵심적인 부품이다.

Ceramic

이트리아
(Yttria, Y₂O₃)

플라즈마 식각률(Etch Rate)이 알루미나 대비 현저히 낮습니다.
부품의 수명을 대폭 늘려줄 뿐만 아니라, 챔버 내부를 청결하게
유지하여 수율을 높이는데 결정적인 역할을 한다

Specification

특성 항목	Value
플라즈마 식각률	매우 낮음 (탁월한 보호)
화학적 안정성	불소(F) 및 염소(CI)가스에 매우 강함
파티클 오염도	부식 발생이 거의 없어 청정함
전기적 특성	우수한 절연성이나, 알루미나보다 낮음
가공성	소결이 어렵고 코팅 위주로 가공
적용 형태	Focus Ring, Chamber Lin

Ceramic

알루미나
(Alumina, Al₂O₃)

고온 환경에서도 전기 절연성이 뛰어나고, 우수한 기계적 강도와
내마모성이 뛰어나므로 반도체 공정 전반에서 장비의 구조적 안정성을
뒷받침하는 가장 범용적인 핵심 소재입니다.

Specification

특성 항목	Value
플라즈마 식각률	상대적으로 높음 (침식 빠름)
화학적 안정석	산성/알칼리에 강하나 불소(F)에 취약
파티클 오염도	부식으로 인한 오염 발생
전기적 특성	절연 파괴 강도가 매우 높음
가공성	성형 및 정밀 연마가 용이함
적용 형태	챔버내 구조물 및 절연 부품

Product

Ceramic

Ceramic Overview

Specification

Specification

글로벌 반도체 소재 · 부품 전문 기업

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소재 · 부품 전문 기업