SiC

알케미스트의 모든 제품은 산업 현장에서 요구하는 기준에 맞춰 설계되었으며,
축적된 기술력을 바탕으로 내구성·정밀도·안정성을 더욱 강화해 안심하고 사용할 수 있습니다.

SiC

SiC Ring

웨이퍼의 가장자리에서 플라즈마를 제어하여 식각 균일도를 확보하는 핵심 부품
Si에 비해 고강도·고내식 소재이다

항목	Ring
내구성	Etcher
공정 균일도	Single Crystal / Poly Crystal
교체 빈도	Focus Ring, Edge Ring, Insert Ring
주요 용도	Ø200 ~ 400 mm

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