Synthetic Quartz

알케미스트의 모든 제품은 산업 현장에서 요구하는 기준에 맞춰 설계되었으며,
축적된 기술력을 바탕으로 내구성과 정밀도, 안정성을 더욱 강화해 안심하고 사용할 수 있습니다.

Synthetic Quartz

Etching Parts

고순도 초정밀 쿼츠 가공 기술을 기반으로 플라즈마의 직진성을 정밀하게 제어할 수 있도록 설계된 완성형 파츠입니다.

1. 제품 Life Time증대
OH 농도를 최소화함으로써 플라즈마 공정 환경에서의 내구성을 향상시키고, 장기 사용 시에도 안정적인 성능을 유지하여 제품 수명을 크게 증대시킵니다.

2. 파티클 최소화
마이크로 버블 발생을 최소화하여 파티클 이슈를 효과적으로 억제하고, 공정 내 오염 리스크를 낮추어 안정적인 품질 확보에 기여합니다.

Specification

	OH	F	CI	Pb	Sn
	ppm			ppb
EQ#01	≤1	0.5	976	≤0.1	≤0.1
EQ#02	≤200	3	5	≤0.1	≤0.1
EQ#03	≤1300	100	100	≤1.0	≤1.0

※ NQ #4 : Natural quartz materials and parts are also supported

Unit : ppb

Item	Al	Be	Ca	Co	Cr	Cu	Fe	K	Li	Mg	Mn	Na	Ni	Ti	V	Zn
EQ#01	≤10	≤1	≤10	≤1	≤1	≤1	≤5	≤30	≤1	≤10	≤1	≤15	≤1	≤1	≤1	≤1
EQ#02	≤10	≤1	≤10	≤1	≤1	≤1	≤5	≤30	≤1	≤10	≤1	≤15	≤1	≤1	≤1	≤1

Physical Properties

Items	Values
Density ( g/cm3 )	2.2
Coefficient of Thermal Expansion ( x10-7 /K )	5.5
Softening Point (˚C )	1.670
Annealing Point (˚C )	1.210
Strain Point (˚C )	1.070
Thermal Conductivity(20 ℃ , w/m.k)	1.38