Aluminum Oxide
알루미늄 산화물
설명
고순도 Al2O3는 일반적으로 순도가 99.5% 이상이며 80% 이상의 미세 입자(~< 1um)를 포함합니다.
응용프로그램
반도체 공정을 위한 건식 식각 및 CVD
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