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PRODUCT

Differentiated technology and
industry-leading expertise.

Poly-Si-Ring

멀티 링

Descriptions

Chamber내부의 Gas흐름이 Gas분포와 Etching 균일도를 결정한다.

Slot의 방향을 하부로 하여 기존 대비 Down flow에 의한 자연스런 Gas 배출유도

->Gas의 확산력이 개선된다.

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항목

속성

Material

Poly crystalline  

Outer Diameter

440mm ~ 600mm

Resistance(Ω.㎝)

Low resolution (<0.02) / Medium resolution  (1~4)

Surface State

Polishing, lapping, grinding

Surface Flatness

< 5㎛

Processing Precision

< 10㎛

Quality

No chipping, scratch, cracking, contamination, pigmentation  


SITEMAP